布魯克斯brooks質量流量控制器

質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制技(ji)術，前所未有的過程精度

為(wei)真正實現對每個過程(cheng)的(de)(de)控制，用(yong)戶必(bi)須精確測量(liang)進行(xing)中(zhong)的(de)(de)過程(cheng) — 范圍涉及饋線(xian)、倉室(shi)等每一處 — 然后利用(yong)所得(de)到的(de)(de)實時(shi)信(xin)息確保(bao)過程(cheng)準(zhun)確按照目標(biao)執(zhi)行(xing)并達(da)到目標(biao)產率。

作為一家在液體精(jing)確(que)測量(liang)與控(kong)制(zhi)方(fang)面(mian)全球領先的(de)企業，布魯克斯儀器數十年來(lai)不斷(duan)堅持(chi)創(chuang)新熱(re)質量(liang)流量(liang)技術(shu)，推出新產品并不斷(duan)提升現(xian)(xian)有系(xi)統性(xing)能(neng)以突破現(xian)(xian)有熱(re)質量(liang)流量(liang)技術(shu)在準確(que)性(xing)、響(xiang)應速度、精(jing)度和重現(xian)(xian)性(xing)方(fang)面(mian)的(de)限制(zhi)。

布魯克斯質量流量設備在全球得到廣泛應用的關鍵原因：

擁有業內種類齊全的產品系列可滿足各種應用需求

創新型 MultiFlo? 技術可使(shi)一臺設備(bei)完成氣(qi)體類型和量程的(de)切換工作并且無需從系(xi)統(tong)中拆(chai)除設備(bei)，同時(shi)還能夠提升過(guo)程氣(qi)體的(de)測量準確性(xing)

產(chan)品范圍全面(mian)，包括彈性體密(mi)封和(he)金屬密(mi)封選件

超高純度設(she)備，專為滿足(zu)薄膜、半(ban)導體(ti)以及其他高科技行業需求而(er)設(she)計

關鍵應用

熱處(chu)理、切(qie)割等其他(ta)熱過程

半導體和 LED 生(sheng)產工(gong)具

薄膜淀積系統

用于生(sheng)物(wu)制藥的(de)生(sheng)物(wu)反(fan)應(ying)器

石化和化工氣體和液體試驗工廠

吹(chui)掃氣體、過程分析(xi)和分析(xi)用流(liu)量測定